产品介绍

角位移台都基于SmarAct的压电驱动技术。角位移台有不同的半径。除了它们的紧凑性,这些位移台是非常刚性的,因此非常适合微米或纳米定位任务。

由于采用高精度交叉滚子轴承,其角精度非常高。角位移台在其±5°的整个工作范围内提供优秀的运动分辨率。

SGO-60.5-角位移台

SGO-60.5角位移台可轻松堆叠在SGO-77.5角位移台的顶部,形成一个欧拉架,其旋转共同点在工作平台上方60.5毫米。

SGO-77.5-角位移台

精确而紧凑的角位移台SGO-77.5可直接安装在SLS-52线性位移台的顶部,或与SGO-60.5角位移台结合使用时可作为欧拉架的底座。

SGO-93.5-角位移台

SGO-93.5的顶部平台和旋转中心之间的距离为93.5 mm,即使对于较大的部件或子平台,也提供了足够的空间。

通过将两个平台与合适的半径结合起来,可以构建一个具有共同旋转中心的紧凑型欧拉架角位移台。
它们的机械接口适合SLS-52模块化系统。因此,允许通过线性位移台,旋转台和角位移台的直接组合来创建多轴系统。角位移台可以通过我们的任何控制单元进行操作,也可以与集成的定位传感器一起使用。此外,SGO系列可用于不同的环境条件,例如高真空和超高真空环境。
SGO系列包括三个角位移台:SGO-60.5,SGO-77.5和SGO-93.5。前两个可以直接安装在彼此的顶部,以形成欧拉架角位移台。由于半径大,后一个是用于复杂子系统或较大部件的理想倾斜平台。在上面描绘的渲染图中,绿色球形表示给定角位移台或系统的旋转中心。
可以对SGO系列角位移台进行修改以适合特定要求,并且可以对其进行定制以集成到现有装置中。我们已经设计了许多定制解决方案,其中包括角位移台。请随时与我们联系,为您的应用找到理想配置。我们期待与您讨论您的个人要求。

应用实例

具有六个自由度的模块化定位系统,包括三个旋转自由度

SGO系列的角位移台与SmarAct的模块化系统完全兼容。这样就保证了将角位移台与线性位移台和旋转台组合在一起以实现复杂定位系统的可能性。

在右图所示的示例中,两个SLS-5252线性位移台形成一个XY平台,并由CHS-5237垂直平台作为Z轴进行补充。XYZ系统的顶部安装了两个角位移台SGO-60.5和SGO-77.5,以及一个SR-5014旋转台。由于匹配的外部尺寸和安装孔样式,三个旋转台具有相同的旋转中心(由绿色球体表示)。

该定位系统适合作为衍射实验的样品台,因为旋转中心可以精确地定位在31 x 31 x 10mm³的体积内。

具有5 自由度的定位系统,用于重型负载或子位移台系统

如果预期的应用场景要求在XY和Z轴上有较大的行程范围,则两个SGO系列角位移台也可以与专为较长行程范围和较重负载而设计的三轴定位系统结合使用。在左边的示例中,两个SLS-9292线性位移台(每个行程为63 mm)与一个SLS-5252线性位移台作为Z轴组合在一起。恒力弹簧装置支撑Z轴,并进一步提升其提升力。通过这种复杂的设计,可以以理想的精度将欧拉架角位移台(绿色球体)的旋转中心定位在61 x 61 x 31 mm3的大体积内。