介绍

SmarAct的混合驱动将粘滑驱动和压电扫描的优点结合在一个单一而紧凑的设备中。混合驱动结合了这两种设备类型的优点,将一个专用的压电扫描器集成到一个微小的粘滑位移台中,而不是将两个专用位移台堆叠在一起。这带来了一个优点,即粘滑驱动器和扫描驱动器都可以使用相同的反馈信号进行闭环定位。

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DLS-3252 -混合驱动

基于SmarAct混合动力技术的小型线性位移台,与SLS-32模块化系统完全兼容。

DLS-5282 -混合驱动

混合驱动位移台结合了长行程粘滑驱动位移台和高分辨率压电驱动位移台的优势。

SmarAct的混合驱动技术在一个紧凑的设备中结合了粘滑驱动和压电扫描驱动的优势。

虽然经典的粘滑驱动式位移台可提供毫米级的行程,但其无振动的扫描范围仅限于几微米。另一方面,基于压电扫描驱动的位移台可提供更大的扫描范围,但无法更改扫描区域的位置。

混合驱动器通过将专用的压电扫描驱动器集成到SmarAct粘滑驱动位移台中,而不是将两个专用的位移台堆叠在一起,从而结合了两种设备的优点。

这带来的优势是,粘滑驱动器和扫描驱动器都可以使用相同的反馈信号进行闭环定位。通过结合机械部件和两种设备类型的驱动信号,混合动力驱动器仅获取MCS2控制系统的单个通道,这使其成为需要将大行程范围与精确定位或准确的扫描相结合的应用的经济高效的解决方案。如果需要更高的扫描频率,则可以分离粘滑驱动和扫描驱动器的驱动信号。

DLS混合驱动产品系列的各个位移台是一个全新的定位器系列,旨在与SmarAct模块化系统完全兼容。宽度为52 mm的混合驱动平台可与SGO角位移台和SLS-52线性为一天以及兼容的旋转台结合使用。

这种兼容性不仅允许将模块化系统连接元件与混合驱动位移台一起使用,而且还可以在多维定位系统中将它们与压电驱动位移台并排使用,从而可以为特定定位选择理想的驱动技术每个轴的任务。如果需要大行程,则SLS产品系列的粘滑驱动位移台是一种经济高效的选择。而当需要较大的行程范围和较大的扫描范围时,DLS混合驱动器都是理想解决方案。


应用实例

用于光学或扫描电子显微镜的两个微操纵器的扫描范围(绿色矩形)之间的比较。基于XYZ DLS-3232的操纵器(如左图所示)继承了新的混合驱动技术,而基于XYZ SLS-3232的操纵器(如右图所示)则依靠经典的粘滑驱动技术。
XYZ DLS-3232 XYZ SLS-3232
驱动类型 混合型 粘滑驱动
自由度 3 3
线性位移台XYZ DLS-3232 SLS-3232
行程XYZ[mm] 21 21
扫描范围XYZ [µm] >10 >1.5
有效载荷[N] 1.5 1.5
分辨率MCS2 [nm] 1 (S) 1 (S)
尺寸[mm], 长 x 宽 x 高 47 x 32 x 37 47 x 32 x 35