SMARPROBE SP4 & SP8

由于采用了全闭环控制运动系统，SMARPROBE 能够以无与伦比的重复性和稳定性进行定位，即使在纳米尺度上也是如此。这消除了探测过程中的漂移、手动校正和猜测，使复杂的测量变得更快、更可靠和高度自动化。这就是闭环的含义，也是与众不同之处。

SMARPROBE SP4 提供 4 个机械手，SP6 扩展到 6 个，SP8 支持多达 8 个机械手。每个系统都包括一个样品台。所有机械手都具有三个自由度，并配备了纳米分辨率的光学编码器，用于高精度电气测量。专用控制软件中执行的智能定位程序，以及最多可加载四个 SEM 样品桩的能力，最大限度地提高了任何纳米探针任务的操作简便性和产量。
基于 SmarAct 在压电纳米定位领域的领先技术，坚固的机械设计保证了最高的稳定性和直观的操作性。所有 SMARPROBE 系统都与各种 FIB、SEM 和光学显微镜兼容，是改造现有工作流程和集成到新仪器的理想解决方案。
SMARPROBE 探测系统支持从双触点 EBIC/EBAC 到先进的 4 点和 6 点探测测量等各种电特性分析技术，是半导体失效分析实验室不可或缺的工具。

主要优点:

• SEM 中的半盲操作。得益于主动位置保持、低热漂移和 Point&Click 功能，在进行探针定位时可将电子束暴露量降到最低，从而保护敏感结构和探针尖端。
• 快速、灵活的安装。SMARPROBE 平台与大多数 SEM、FIB 和光学系统兼容，易于安装和集成，是新装置和改造升级的完美选择。
• 可更换驱动单元，便于维护。SmarAct 久经考验的 EDU 概念可确保快速、无忧的维护，无需重新校准整个测头系统，从而最大限度地减少停机时间，确保系统的最大可用性。

¹ 无振动行程范围。在低振动模式下可执行更长的移动范围，确保导航安全。

² 主动温度控制使热漂移不受周围环境的影响。