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Acton准分子与紫外激光反射镜
面向高能准分子激光系统的多层介质膜反射镜：兼顾高反射率与高损伤阈值，覆盖 126–353 nm 全谱段
Acton准分子与紫外激光反射镜采用多层介质镀膜技术，专为高能准分子激光器设计。镀膜在满足高损伤阈值的同时实现高反射率，覆盖126nm至353nm多种典型波长。基于四十余年经验，可依客户光谱、偏振及应用要求定制，垂直入射与45°入射反射镜常备库存，支持快速交付。产品广泛应用于视力矫正系统、半导体计量及材料加工领域。
产品定位与设计要点
此类反射镜为多层介质镀膜反射镜，面向高能准分子激光器使用。镀膜在满足高损伤阈值要求的同时实现较高的反射率。依托四十余年的准分子镀膜设计与开发经验，可按客户的光谱、偏振及应用要求进行定制设计。光束转折镜与垂直入射反射镜常备库存，可快速交付。准分子光学元件具备批量供货能力，并可借助高技能技术人员与洁净室设施，提供可直接安装的光学组件。镀膜可施加于标准镜坯、定制基底以及客户自供材料之上。
规格与型号对照
垂直入射指 0° 入射，45° AOI 指 45° 入射。型号分为 1.0 英寸与 2.0 英寸两种规格。
| 波长 | 反射率指标（垂直入射） | 反射率指标（45° 入射） |
|---|---|---|
| 126 nm | ≥ 55% | ≥ 50% |
| 147 nm | ≥ 75% | ≥ 70% |
| 157 nm | ≥ 89% | ≥ 87% |
| 172 nm | ≥ 93% | ≥ 90% |
| 193 nm（e 设计） | ≥ 98% | ≥ 97% |
| 248 nm | ≥ 98% | ≥ 97% |
| 308 nm | ≥ 98% | ≥ 97% |
| 353 nm | ≥ 99% | ≥ 98% |
对应的 1.0 英寸型号均以 -1D-MB 结尾，2.0 英寸型号均以 -2D-MB 结尾。以 193 nm 为例，垂直入射型号为 M193-FRe-1D-MB 与 M193-FRe-2D-MB，45° 入射型号为 M193-FR45e-1D-MB 与 M193-FR45e-2D-MB；126 nm 垂直入射型号为 M126-FR-1D-MB 与 M126-FR-2D-MB，45° 入射型号为 M126-FR45-1D-MB 与 M126-FR45-2D-MB，其余波长依此命名规律构成。
镀膜性能优势
核心优势体现为最高的损伤阈值与更长的使用寿命，镀膜品种齐全，覆盖准分子激光的全部典型波长，即 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 与 353 nm。
典型应用场景
主要应用于准分子激光视力矫正系统（LASIK）、半导体激光与计量系统，以及材料加工领域。
实测镀膜曲线
提供以下反射率曲线：126 nm 全反射镜（15°、45°）、146 nm 全反射镜（15°、45°）、157 nm 全反射镜（15°、45°）、172 nm 全反射镜（15°、45°）、193 nm 全反射镜（15°、45°）、248 nm 全反射镜（15°、45°）、308 nm 全反射镜（15°、45°）、353 nm 全反射镜（15°、45°），以及 248–633 nm 全反射镜（15°、45°）。
配套产品
标准镜坯与宽带增透镀膜窗口可与上述反射镜配套使用。
