SmarAct计量产品

纳米探针 SMARPROBE

SMARPROBE 纳米探针系统采用全闭环控制运动技术，实现无与伦比的重复性和稳定性，消除漂移和手动校正，让复杂测量更快、更可靠。支持4至8个机械手，配备纳米分辨率光学编码器，兼容多种FIB/SEM和光学显微镜，是半导体失效分析实验室的理想工具。

皮米干涉仪 PICOSCALE

SmarAct 推出的 PICOSCALE 干涉仪，以皮米级分辨率和无与伦比的精度，重新定义了位移测量技术。该迈克尔逊干涉仪支持非接触式测量，并提供适应真空、低温等极端环境的紧凑传感器头，同时具备强大的固件模块与配件，可满足从实验室到 OEM 集成的多样化需求。

皮秒振动计 PICOSCALE

PICOSCALE 皮秒振动计专为微型机械结构的精密模态分析而设计，集成高分辨率共聚焦显微镜与激光干涉仪，实现非接触式测量。它支持高达 2.5 MHz 带宽、亚皮米级分辨率，可同时获取平面外振动与平面内频闪图像，是 MEMS、传感器及微型致动器研发与测试的理想工具。

光电编码器 METIRIO

METIRIO®是同类产品中最小的光电编码器，专为闭环纳米定位设计，实现极致微型化、高分辨率与高速性能。读头采用模块化OEM设计，可集成于定制外壳，简化集成流程。该编码器支持低功耗与超高真空环境，配备图形化软件，参数可存储于内部存储器，是精密运动控制与纳米定位的理想选择。