精密控制和光学机械

SmarAct 提供多款线性定位平台，涵盖从超紧凑型到长行程的多种系列。所有组件均实现完全兼容，用户可灵活组合成复杂多轴系统。产品采用交叉滚子轴承、压电驱动或电磁直驱等技术，满足高刚性、纳米级定位及高运行时间等不同需求。

SMARPROBE 纳米探针系统采用全闭环控制运动技术，实现无与伦比的重复性和稳定性，消除漂移和手动校正，让复杂测量更快、更可靠。支持4至8个机械手，配备纳米分辨率光学编码器，兼容多种FIB/SEM和光学显微镜，是半导体失效分析实验室的理想工具。

SmarAct 旋转台系列基于不同的驱动技术，提供高精度且连续无限制旋转的定位解决方案。这些旋转台可轻松组合成复杂系统，如万向节或多轴定位器，并支持高压、超高真空及完全无磁版本，适用于广泛的应用场景。其坚固的轴承和多样的开口尺寸设计，确保了卓越的耐用性和灵活性。

SmarAct 推出的 PICOSCALE 干涉仪，以皮米级分辨率和无与伦比的精度，重新定义了位移测量技术。该迈克尔逊干涉仪支持非接触式测量，并提供适应真空、低温等极端环境的紧凑传感器头，同时具备强大的固件模块与配件，可满足从实验室到 OEM 集成的多样化需求。

SmarAct的CHS和SHL系列直线位移台专为高负载应用设计，采用驱动楔块实现高分辨率运动，独立导轨确保直线位移并支持位置传感器集成，实现闭环控制。平台结构紧凑，可组合成多轴系统，在空间受限环境中也能高效处理重载荷。

PICOSCALE 皮秒振动计专为微型机械结构的精密模态分析而设计，集成高分辨率共聚焦显微镜与激光干涉仪，实现非接触式测量。它支持高达 2.5 MHz 带宽、亚皮米级分辨率，可同时获取平面外振动与平面内频闪图像，是 MEMS、传感器及微型致动器研发与测试的理想工具。

SMARSLIDE系列CGO型弧度台专为小角度（±5°）高精度旋转应用而设计，提供两种半径规格，可堆叠组合成具有公共旋转中心的欧拉弧度台，兼具紧凑与高刚性。该系列支持可更换驱动单元，并兼容模块化系统，可轻松与直线台、旋转台集成，构建多维串联系统，满足复杂定位需求。

METIRIO®是同类产品中最小的光电编码器，专为闭环纳米定位设计，实现极致微型化、高分辨率与高速性能。读头采用模块化OEM设计，可集成于定制外壳，简化集成流程。该编码器支持低功耗与超高真空环境，配备图形化软件，参数可存储于内部存储器，是精密运动控制与纳米定位的理想选择。

SmarAct 的光机电一体化定位系统以微型化、高精度和模块化设计，为光学领域复杂实验与装置提供理想解决方案。结合定位传感器，可实现闭环位置控制，适用于自动化或远程控制的实验环境。所有组件均支持高度定制，并可选配高真空、超高真空或黑色阳极氧化版本，满足严苛的真空与光学反射要求。

SmarAct 提供从平面到复杂 3D 任务的高精度定位系统，涵盖六足机器人、模块化系统、SEM 平台及电动光机等多种解决方案。其模块化设计允许灵活组合与重新配置，确保精准应对您的特定定位挑战，实现完全满意。无论是微观样品操作还是光学实验，SmarAct 均能提供纳米级精度的可靠定位。