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皮秒振动计 PICOSCALE
PICOSCALE
PICOSCALE 皮秒振动计专为微型机械结构的精密模态分析而设计，集成高分辨率共聚焦显微镜与激光干涉仪，实现非接触式测量。它支持高达 2.5 MHz 带宽、亚皮米级分辨率，可同时获取平面外振动与平面内频闪图像，是 MEMS、传感器及微型致动器研发与测试的理想工具。
PICOSCALE 振动计：高级模态分析的高分辨率解决方案
PICOSCALE 测振仪是测量尺寸从几微米到几厘米的微型机械结构振动的全套解决方案。其应用包括微机电系统、传感器、微型扬声器以及轴承和致动器的测试。由于该设备配备了集成显微镜，可测量多达 100 万个像素，因此非常适合以高空间和时间分辨率观察振动模式。
- 用光进行非接触式测量
- 扫描激光干涉仪，用于测量平面外运动（激光束方向）
- 测量带宽高达 2.5 MHz（10 MHz 采样率），分辨率低于 1 pm
- 集成红外共聚焦显微镜，光学分辨率高达 2 μm
- 封装微机电系统的模态分析
- 平面内运动的频闪成像（垂直于激光束方向）
- 全套仪器，带振动台
